雷火电竞app|官网-雷火竞技
服务热线全国服务热线:

13853399336

行业资讯

高能离子注入机获重大突破电科装备一步步攻克国产难题

发布时间:2022-09-22  来源:雷火电竞app官网  作者:雷火竞技


  据悉,中国电子科技集团旗下电科装备自主研制的高能离子注入机,成功实现百万电子伏特高能离子加速,性能达到国际先进水平。

  据了解,电科装备将在年底前推出首台高能离子注入机,实现中国芯片制造领域全系列离子注入机自主创新发展,并将为全球芯片制造企业提供离子注入机成套解决方案。

  离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中,需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能,这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中,离子注入机即是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。

  高能离子注入机是离子注入机中技术难度最大的机型。长久以来,因其极大的研发难度和较高的行业竞争壁垒,被称为离子注入机领域的“珠穆朗玛峰”,是我国集成电路制造装备产业链上亟待攻克的关键一环。

  电科装备在离子注入机领域具有较好的技术积淀,已连续突破中束流、大束流、特种应用及第三代半导体等离子注入机产品研发及产业化难题,产品广泛服务于全球知名芯片制造企业。

  中电科电子装备集团有限公司(简称“电科装备”)是中国电子科技集团公司(以下简称“中国电科”)的全资子公司,成立于 2013 年,由中国电科二所、四十五所和四十八所及其 11 家控股公司整合而成,地跨北京、太原、长沙、上海等六省市八园区。主要从事半导体装备及光伏装备的研发。主要产品包括:离子注入机、CMP 抛光机、MOCVD、多线切割机、光伏电站等。

  目前,电科装备是国内唯一一家集研发、制造、服务于一体的离子注入机供应商。特别是在承担了国家 02 专项后,电科装备在离子注入机研发方面,一年迈上一个新台阶。实际上如果没有国家 02 专项的支持,我国离子注入机到现在还是一片空白。

  2014 年,电科装备的 12 英寸中束流离子注入机就以优秀等级通过国家 02 专项实施管理办公室组织的验收。

  2015 年,在中芯国际先后完成了 55nm、45nm 和 40nm 小批量产品工艺验证,这一年国产首台中束流离子注入机率先实现了量产晶圆过百万片。

  到 2017 年 11 月,电科装备的中束流离子注入机已经在中芯国际实现了稳定流片 200 万片,请注意这个数字在 2015 年还是刚刚突破百万片。

  这个 200 万片意味着什么呢?2017 年第三季度,中芯国际的实际产能为 44.8 万片。

  从 2015 年的百万片,到 2017 年的 200 万片,两年时间国产离子注入机完成了 100 万片的生产量,而按照中芯国际 2017 年第三季度的实际产能计算,年产能为 180 万片左右。

  因此我们可以合理估计,在七大类设备中的离子注入机这块,当时中芯国际产线%左右已经基本实现了国产化。

  需要注意的是,中束流离子注入机只是适用于 55nm、45nm 和 40nm,要进一步适应更先进制程,还需要大束流离子注入机。

  2016 年,电科装备推出满足高端工艺的新机型 45—22nm 低能大束流离子注入机,前面提到中束流、低能大束流系列产品已经批量应用于 IC 大线 年,该离子注入机也在中芯国际产线 年,电科装备的离子注入机批量制造条件厂房及工艺实验室投入使用,具备符合 SEMI 标准的产业化平台,年产能达 50 台,并应用信息化管理系统实现离子注入机批量制造全程质量控制及追溯。

  电科装备董事长、党委书记刘济东当时就强调,电科装备自主研发的离子注入机打破了高端市场被美日垄断的局面,打造了离子注入机国产品牌。

  此外,电科装备还是国产 CMP 抛光设备的主要供应商之一。2017 年 8 月,电科装备就成功研发出了国内首台拥有完全自主知识产权的 200mm 化学机械抛光商用机。并于 2017 年 11 月 21 日成功在中芯国际天津厂 8 英寸大生产线 英寸 CMP 设备也成功研发完成。

  除了集成电路晶圆制造两大关键设备以外,电科装备还是国内主力的集成电路封装设备制造商,其封装设备累计销售 2000 余台套,已经批量应用于长电科技、通富微电、苏州晶方等国内知名封测企业——在高端封装设备领域,电科装备已经形成局部成套的供应能力。

  在 02 专项支持下,电科装备完成了封装产线mm 超薄晶圆减薄抛光一体机研发与产业化。同时研发了倒装芯片键合机、全自动精密划片机用于封装产线,技术水平在国内处于领先地位。

  最近几年,国产芯片面临“卡脖子”的危险。有专家讨论,中国要么沿着国外的技术路线打造国产芯片;要么另辟蹊径,开辟全新的赛道,实现弯道超车。显然,后一条路线更难。目前来看,这两条路线是并行的,而且各自有所突破。9月14日晚,中国科学家在国际顶级学术期刊《自然》发表最新研究,首次得到了纳米级光雕刻三维结构,在下一代光电芯片制造领域获得了重大突破。这一重大发明未来或可开辟光电芯片制造新赛道,有望用于光电调制器、声学滤波器、非易失铁电存储器等关键光电器件芯片制备,在5G/6G通讯、光计算、人工智能等领域有广泛的应用前景。据悉,南京大学张勇、肖敏、祝世宁领衔的科研团队,发明了一种新型“非互易飞秒激光极化铁电畴”技术,将飞秒脉冲激光聚焦于材料“铌

  继美国总统拜登于上月签署《2022芯片和科技法案》(以下简称“芯片法案”)后,美国商务部6日发布了该法案芯片部分的实施战略,其内容进一步暴露出美国试图以此打压中国半导体产业的企图。美国商务部部长雷蒙多6日在白宫新闻发布会上表示,根据“芯片法案”实施战略,美国将在半导体领域建立“护栏”,“以确保那些获得资助的企业不会将最新技术送到海外,从而危及(美国的)国家安全”。雷蒙多强调,如果获得资助的企业和机构未能履行某些承诺,商务部将“毫不犹豫地收回资金”。当地时间8月9日,美国总统拜登正式签署“芯片法案”,该法案计划为美国半导体产业提供高达527亿美元的政府补贴,其中500亿美元被拨给“美国芯片基金”计划。根据美国商务部发布的信息,

  美国阻止中国制造高端芯片的努力正受到新形式的削弱。中国大陆的半导体产业在专利方面落后于美国,在制造方面落后于韩国和中国台湾,但它希望通过采用革命性的新芯片设计技术来超越竞争对手。5G智能手机和一些工作站中使用的先进芯片通过将晶体管本身的尺寸缩小到3nm~5nm,将数十亿个晶体管集成到指甲大小的芯片上。大多数芯片的栅极宽度为28nm或更高。在硅片上蚀刻微小的电路是非常困难的。只有荷兰制造商ASML制造EUV光刻机,这些光刻机使用紫外光谱最末端的短波长将晶体管缩小到如此微小的尺寸。建设相应的晶圆厂非常昂贵,每个工厂的成本高达200亿美元。2020年,美国迫使荷兰政府禁止向中国出口ASML最先进的光刻机。ASML使用美国知识产权,为华盛顿

  即使面临拜登政府的阻扰,中国半导体产业仍显示出蓬勃发展的迹象,这在华盛顿敲响警钟。国际半导体产业协会数据显示,2021年海外供应商从中国获得的芯片制造设备订单激增58%,令中国连续第二年成为第二大市场。全球芯片短缺,扰乱了从汽车到智能手机等多种产品的供应。去年拜登下令审查漏洞,发现尽管美国在芯片设计和制造设备市场保持可观份额,但相关行业“高度依赖”海外销售,尤其是中国。这种窘境在最新数据中一览无余:2021年,全球芯片需求激增推动美日公司获得的订单猛增44%,其中来自中国的订单增幅远超其他地区。一些美国芯片制造商声称,担心中企正支付高于市场的价格以获得制造设备。但处于这场激烈争论旋涡中的美国商务部表示,除正常的市场力量在起作用,迄今

  据路透社报道,通用电气、3M、德州仪器、SK海力士警告称,中国的疫情防控措施正进一步扰乱受损的供应链,影响其收入。报道称,中国抗击奥密克戎的清零政策导致许多城市再次封锁,迫使工厂关闭,加剧了全球供应链的僵局。这给金融市场蒙上了一层阴影,市场担心全球经济受到冲击。全球经济刚刚从大流行导致的衰退中复苏。从劳动力到原材料,各个公司都在争相应对不断飙升的成本,而俄乌冲突,以及西方的相关制裁,已经推高了能源价格。通用电气首席执行官拉里·卡尔普在周二的财报电话会议上表示:“总的来说,供应链问题、俄乌冲突和中国疫情对本季度收入产生了不利影响,影响约6个百分点。”卡尔普预计通用电气今年不会完全抵消通胀,他表示,该公司正在仔细研究成本,以适应新的形势

  从中国最好的大学之一获得微电子学位后,亚当在上海找到了一份中国最先进的芯片制造线的工程师工作。每天早上7点或下午2点起床,换上色彩鲜艳的全身套装,把手机放在储物柜里,开始了将近10个小时的轮班。亚当几乎是中国经济规划者的理想年轻人:随着中国寻求摆脱对进口芯片的依赖,它指望像他这样训练有素的专家掌握建立本土半导体供应链所需的复杂技术。但经过多年的努力,他拒绝了内部晋升,并于去年冬天转投附近的一家芯片设计公司。他的新雇主给了他很大的加薪,他可以告别流水线和夜班,像一个典型的白领一样坐在转椅上。“现在我在改变职业道路后在办公室里有点初级,但我并不后悔,”亚当说,他可以随时使用他的手机。他匿名与 Sixth Tone 进行了交谈,因为他无权

  评论赢【京东卡、适配器】|MPS 邀您围观【DIY 多功能电工台】选型视频

  2022 Digi-Key KOL 系列: 你见过1GHz主频的单片机吗?Teensy 4.1开发板介绍

  BOE(京东方)供货小鹏G9首款“中控+娱乐”系统级双联屏 引燃智能座舱“大屏风暴”

  英伟达「史诗级」自动驾驶芯片亮相!算力2000TOPS,兼容座舱娱乐功能

  阅读TI Think.lnnovate 神级DIY系列博文,你来畅想我送礼!

  下载有礼|是德科技电子书 《通过了解测试精度的基础知识, 提高良率并降低风险》,不做“差不多先生”

  嵌入式处理器嵌入式操作系统开发相关FPGA/DSP总线与接口数据处理消费电子工业电子汽车电子其他技术存储技术综合资讯论坛电子百科

上一篇:濟南市長清區:“黨建聯盟”為產業發展注入“紅色動能”
下一篇:秦创原•科创高新——等离子弧增材制造应用发展研讨会将于5月1

相关文章